【寻找最美辽宁工人】辽沈IC装备产业领航人

    ——记真空技术装备国家工程实验室主任雷震霖

雷震霖在操作台前。中工网记者 金雅银摄

    先后主持或参与17项国家级科技项目，屡次打破发达国家的技术封锁，拥有国际、国内发明专利10余项，发表学术论文30余篇；助推我国在IC装备制造领域实现三代跨越式发展。他就是辽沈IC装备产业领航人、真空技术装备国家工程实验室主任雷震霖。

　　 打破发达国家技术封锁

　　 高端装备制造业是衡量一个国家产业核心竞争力最重要的标志，而其中的IC装备产业则是支撑当今科学技术发展的基础产业。

　　 近几年，沈阳全力发展IC装备产业，依托中科院沈阳科学仪器研制中心成立的真空技术装备国家工程实验室成为开路先锋，是真空行业中全国唯一的国家级工程实验室，为沈阳科技创新体系增添了中坚力量。

　　 几年来，雷震霖积极组织协调优势科技力量，通过精心部署，申报成功国家科技重大专项项目10项，累计获得中央财政资金8亿元，使沈阳成为继北京、上海后承担国家IC装备重大专项最多的地区，为沈阳发展太阳能光伏、半导体照明LED等新兴产业打下了良好的技术基础，大大提升了沈阳在全国科技创新体系中的地位。

　　 2013年，面向我国尖端科学仪器设备、国家大工程及先进制造工艺的迫切需求，雷震霖积极打造“产学研”技术研发平台，与东北大学、中科院金属所等单位联合承担了“耐腐蚀超洁净系列涡旋干式真空泵开发和应用”项目。项目完成后，预计3年内可实现2000台套的应用，为科研机构、生产企业提供稳定可靠、整体性能达到国外同类产品先进水平的干泵产品，可满足国家大科学工程等尖端科学仪器，航空航天、半导体制造等国计民生工程的应用需求。

　　 去年，雷震霖牵头申报的国家重大专项课题“极大规模集成电路核心部件精密加工成套装备与技术”已进入任务合同书签订阶段。该课题将推动我国国产数控机床在集成电路大型、复杂、精密零件数控加工方面的应用研究和推广，通过攻克当代最先进、最复杂的制造技术，助推国产数控机床在精度、效率、智能化和可靠性等方面全面赶超世界先进水平。