人物小传

　　牟昌华，北京七星华创流量计有限公司总经理，教授级高级工程师，工学博士。

　　牟昌华在气体质量流量测量和控制领域工作多年，申请获得专利近20余项，成功研发了CS200、CS300、CS230G多个系列产品，广泛应用于我国大规模集成电路装备、光伏、真空等领域，打破了国外对我国的技术垄断。2012年获得北京科技二等奖，2015年获北京科技三等奖。

　　牟昌华曾荣获“2010年北京市劳模”、“2013年全国五一劳动奖章”、“2015年全国劳模”。

　　如何作自我介绍，是常常让牟昌华感到头疼的事。在介绍自己时，他总是爱用“工程师”来作概括，但一提到他的研究领域，牟昌华不得不放慢语速，耐心地向对方讲解上十几分钟。很多时候，他还要用上比喻的修辞手法——他的研究太“冷门”了。

　　虽然“冷”，但至关重要。牟昌华所研究的，是一种名为“气体质量流量控制器”的装置，这是一种曾经被西方发达国家技术垄断的先进设备，众多工业领域都会用到。

　　核心

　　“冷门技术”

　　生活中的“热应用”

　　“举个例子，我们手机的触摸屏、外壳、芯片，它们的制造都要用到它。”牟昌华打了个比方，气体质量流量控制器就像家里的水龙头。水流太小，菜洗不干净，水流太大，就会造成浪费。水流要开多大，除了要靠水龙头，要靠人的大脑、眼睛和手来调节。“我们的产品就相当于把人和水龙头结合在一起，可以精确地控制你想要的气体的流量。”

　　这样说，可能还会有许多人不理解气体质量流量控制器的用途。但是在我们生活中的方方面面，都在和它发生着联系。比如手机的金属外壳，就是把外壳放在一个真空的环境中，然后通入特殊的气体来给它上色的。如果气体的流量和质量控制不好，那么不同批次的手机外壳颜色可能就会有差别。

　　再比如街头常见的共享单车，车头的篮筐里都会有一块光伏太阳能板。其实，在光伏太阳能电池片的制备中，需要靠气体来镀膜，靠气体来刻蚀，靠气体来清洗，许多重要环节都是要靠气体质量流量控制器来承担。因此，在类半导体产业中，包括光伏行业、LED行业，对气体控制要求很高，对气体质量流量控制的要求也很高。在集成电路装备产业里面，气体质量流量控制也是非常核心的一个环节。

　　苦干

　　磨剑三年 挑战世界先进水平

　　一个这么神奇的设备到底有多大呢？其实，气体质量流量控制器的体积很小，不过比手机大一点。可就是这么一个小小的“盒子”，中国人却曾经生产不出来。可以说，国产气体质量流量控制器的诞生，是国外的技术封锁逼出来的。

　　2005年，牟昌华博士毕业，成了一名应用工程师。那个时候，国外进口的设备独步天下，相关技术也为西方发达国家所垄断。当时国内只能生产一些模拟产品，这样的产品根本谈不上高精尖，只能应用于一些低端产业中。国产设备不仅精度比较差，反应时间长达5到8秒，而且很不稳定，故障频频。

　　刚入行的日子里，牟昌华的角色更像个售后客服，每天都能接到客户的抱怨。有一次，他去深圳一个客户那里，客户向他“演示”设备的各种故障，他自己都没法解释。“当时很有挫败感，而且问题解决不了，只能退货。”

　　知耻而后勇。2006年，牟昌华向世界先进水平发起挑战，主持研发国产新一代数字气体质量流量控制器。国内高校没有气体质量流量控制专业，而且国外还有技术封锁，即便拆开了人家的设备，也不知道其中的原理。牟昌华带领着五六个人的研发团队，苦心孤诣地研究了三年。那段时间，牟昌华和他的团队是在无休止的加班中度过的。回想起这段日子，牟昌华感慨：虽然累，但是很充实。“我们每天都能发现问题，每天都会有进步。”开发一个配套软件，国外的团队可能需要一到两年，而他们用了12个星期就做出来了。